Nanoelectronic Device Processing
Tillverkning av nanokomponenter

EIT180F, 15 högskolepoäng

Gäller från och med: Spring 2019
Beslutad av: Professor Thomas Johansson
Datum för fastställande: 2018-12-21

Allmänna uppgifter

Avdelning: Electrical and Information Technology
Kurstyp: Ren forskarutbildningskurs
Undervisningsspråk: English

Syfte

The aim of the course is that the PhD student shall develop the skill to develop devices with highly competitive performance.

Mål

Kunskap och förståelse

För godkänd kurs skall doktoranden

• Demonstrate understanding of individual process steps
• Verify that process steps may be integrated in process chains
• Be able to interact with other students and researchers to solve process related issues

Färdighet och förmåga

För godkänd kurs skall doktoranden

• Know how to operate a set of tools
• Be able to present a process flow in a structural way
• Fabricate devices with competing performance

Värderingsförmåga och förhållningssätt

För godkänd kurs skall doktoranden

• Be able to identify process incompatibilities
• Be able to communicate processing technology to other researchers

Kursinnehåll

The course consists of three different parts. First the student shall learn to use semiconductor process equipment required for fabrication of the specific device. Secondly, the student shall in a structural way develop the process flow to successfully fabricate the device. It shall be documented in the terms of power point process flows and the student shall continuously update the flow during process meetings.Finally, the process flow shall be documented.

Kurslitteratur

Forskningsartiklar i ämnet..

Kursens undervisningsformer

Undervisningsformer: Projekt, litteraturkurs som självstudier. Participation in weekly process meetings are required.

Kursens examination

Examinationsformer: Skriftlig rapport, inlämningsuppgifter, seminarieföredrag av deltagarna, övrigt. Part of the axamination will be the inclusion of process flows as appendices in the PhD thesis
Betygsskala: Underkänd, godkänd
Examinator:

Antagningsuppgifter

Övrig information

Examinor Prof. Lars-Erik Wernersson

Kurstillfällesinformation

Kontaktinformation och övrigt

Kursansvariga: