Tillverkning av nanokomponenter
Nanoelectronic Device Processing

EIT180F, 15 högskolepoäng

Gäller från och med: Vårterminen 2019
Beslutad av: Professor Thomas Johansson
Datum för fastställande: 2018-12-21

Allmänna uppgifter

Avdelning: Inst för elektro- och informationsteknik
Kurstyp: Ren forskarutbildningskurs
Undervisningsspråk: Engelska

Syfte

Kursens syfte är att doktoranden ska utveckla kompetens i processteknik för att kunna tillverka komponenter med konkurenskraftig prestanda.

Mål

Kunskap och förståelse

För godkänd kurs skall doktoranden

• Uppvisa förståelse för de olika processstegen
• Verifiera att processstegen kan integreras i en kedja
• Klara att interagera med andra studenter och forskare för att lösa processrelaterade problem.

Färdighet och förmåga

För godkänd kurs skall doktoranden

• Klara att operera olika utrustningar
• Kunna presentera ett processflöde på ett strukturerat sätt
• Klara att tillverka komponenter med konkurrenskraftig prestanda

Värderingsförmåga och förhållningssätt

För godkänd kurs skall doktoranden

• Kunna identifiera process problem
• Klara att kommunicera processteknik med andra forskare

Kursinnehåll

Kursen består av tre delar. Först ska studenten lära sig att använda den utrustning i halvledar processteknik som behövs för den specifika komponenten. Studenten ska sedan på ett strukturerat sätt utveckla processfflöden för att kunna tillverka komponenten. Dessa ska dokumenteras i termer av power point processning och kontinuerligt uppdateras under studierna. Slutligen ska processflöden dokumenteras.

Kurslitteratur

Forskningsartiklar i ämnet..

Kursens undervisningsformer

Undervisningsformer: Projekt, litteraturkurs som självstudier. Deltagande i veckomöten relaterade till processteknik är obligatoriskt.

Kursens examination

Examinationsformer: Skriftlig rapport, inlämningsuppgifter, seminarieföredrag av deltagarna, övrigt. I examinationen ingår publicering av processflöden som appendix i avhandlingen
Betygsskala: Underkänd, godkänd
Examinator:

Antagningsuppgifter

Övrig information

Examinator Prof. Lars-Erik Wernersson

Kurstillfällesinformation

Kontaktinformation och övrigt

Kursansvariga: