Kristalltillväxt och halvledarepitaxi
Crystal Growth and Semiconductor Epitaxy

FAFN15F, 7,5 högskolepoäng

Gäller från och med: Höstterminen 2014
Beslutad av: FN1/Anders Gustafsson
Datum för fastställande: 2014-04-22

Allmänna uppgifter

Avdelning: Fasta tillståndets fysik
Kurstyp: Gemensam kurs, avancerad nivå och forskarnivå
Kursen ges även på avancerad nivå med kurskod: FAFN15
Undervisningsspråk: Engelska

Syfte

Epitaxi är en metod att framställa kristallina material som är mycket vanlig inom elektronikindustrin. Kursen syftar till att ge doktoranderna en forskningsrelavant bakgrund i kristalltillväxt och epitaxi samt att ge doktoranderna de kunskaper som är nödvändiga för att kunna diskutera frågor som rör kristalltillväxt och epitaxi.

Mål

Kunskap och förståelse

För godkänd kurs skall doktoranden

• kunna förklara kristalltillväxt och epitaxi, samt de nödvändiga begreppen inom termodynamik och kinetik
• kunna förklara kopplingen mellan tillväxtparametrar samt tillväxtmetod och resultatets egenskaper och kvalitet

Färdighet och förmåga

För godkänd kurs skall doktoranden

• kunna utvärdera och välja lämplig kristalltillväxtmetod för en specifik frågeställning
• kunna muntligen eller skriftligen presentera frågor rörande kristalltillväxt på ett vetenskapligt sätt

Kursinnehåll

I denna kurs kommer vi att noggrant gå igenom de fundamentala aspekterna av kristalltillväxt. Vi kommer att behandla de termodynamiska förutsättningarna för kristalltillväxt, såsom kemisk potential, konstruktion av binära fasdiagram, övermättnad och nukleering. Vidare kommer vi att studera ytenergier, ytdiffusion och Wulffs teorem. Inom kursavsnittet om epitaxiell växt kommer vi bland annat att diskutera ytrekonstruktioner, gitteranpassning, dislokationer samt karaktärisering – både in- och ex-situ. Vi kommer också att gå igenom tillväxttekniker och reaktormodeller. Under kursens gång kommer de olika delmomenten att belysas med exempel från modern forskning, i synnerhet forskning om epitaxi av nanostrukturer.

Kurslitteratur

Pohl, U.: Epitaxy of Semiconductors. Springer, 2013. ISBN 9783642329692.

Kursens undervisningsformer

Undervisningsformer: Föreläsningar, övningar

Kursens examination

Examinationsform: Skriftlig tentamen
Betygsskala: Underkänd, godkänd
Examinator:

Antagningsuppgifter

Förutsatta förkunskaper: FFF110 Process- och komponentteknologi, någon grundkurs i termodynamik och materiallära.

Kurstillfällesinformation

Kontaktinformation och övrigt

Kursansvariga:
Hemsida: http://www.ftf.lth.se/education/elective_courses/