Metallorganisk gasfasepitaxi
Metal Organic Vapor Phase Epitaxy

FFF025F, 7.5 högskolepoäng

Gäller från och med: Höstterminen 2019
Beslutad av: Anders Gustafsson FTF-AGU
Datum för fastställande: 2019-05-26

Allmänna uppgifter

Avdelning: Fasta tillståndets fysik
Kurstyp: Ren forskarutbildningskurs
Undervisningsspråk: Engelska

Syfte

Kursen avser att ge nödvändiga kunskaper för att förstå metallorganisk gasfasepitaxi av halvledarstrukturer med avseende på termodynamiska och kinetiska aspekter såväl som detaljerad insikt i vanligt förekommande materialsystem och deras olika utmaningar med avseende på syntes i praktik och teori.

Mål

Kunskap och förståelse

För godkänd kurs skall doktoranden

• Kunna förklara processen för metallorganisk epitaxi, samt de nödvändiga begreppen inom termodynamik och kinetik.
• Kunna förklara kopplingen mellan tillväxtparametrar och resulterande epitaxi.

Färdighet och förmåga

För godkänd kurs skall doktoranden

• Kunna utvärdera och välja lämpliga kristalltillväxtparametrar för en specifik frågeställning
• Kunna muntligen och skriftligen diskutera metallorganisk-gasfasepitaxifrågeställningar på vetenskaplig nivå.

Kursinnehåll

Översikt av den generella MOVPE processen. Termodynamikaspekter. Ytprocesser. Basmolekyler. Kinetik. Hydrodynamik och masstransport. Utformning av MOVPE processen. Specifika material. Supergitter. Aktiva strukturer odlade med MOVPE. Spänningsinducerad spontannukleation (lågdimensionella material).

Kurslitteratur

Stringfellow, G.: Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice. Academic press, 1999. ISBN 0126738424.

Kursens undervisningsformer

Undervisningsformer: Seminarier, projekt

Kursens examination

Examinationsformer: Skriftlig rapport, seminarieföredrag av deltagarna, övrigt. Studenterna förbereder ett till två tilldelade kapitel i Stringfellows bok ”Organometallic vapor phase epitaxy, theory and practise” som muntlig inledningspresentation för varje mötestillfälle. Kontinuerlig examination sker av studenterna via presentationen och följande diskussion där alla studenter förväntas delta och förbereda sig dels genom att läsa indikerade kapitel i boken samt enligt kursplan hänvisad vetenskaplig litteratur. Två timmar ägnas till genomgång och diskussion varje mötestillfälle. Det finns krav på en förberedd diskussionspunkt ifrån varje student och mötestillfälle. Kursen avslutas med skriftlig examination där en vetenskaplig artikel eller ett föredrag diskuteras och analyseras i termer av MOVPE och insikter baserade därav. Nivå: vetenskaplig publikation.
Betygsskala: Underkänd, godkänd
Examinator:

Antagningsuppgifter

Förkunskapskrav: Någon grundkurs i termodynamik och materiallära. MOVPE experience.
Förutsatta förkunskaper: MSc i fysik, kemi eller motsvarande.
Urvalskriterier: Max 7 deltagare utvalda baserat på faktiskt MOVPE användning.

Övrig information

Max antal studenter per kursomgång vid tillräcklig efterfrågan är 7. Kursen ges typiskt vart femte år.

Kurstillfällesinformation

Kontaktinformation och övrigt

Kursansvariga: